Product Details製品詳細
大型ラッピング装置
高付加価値部品の量産化、半導体ウエハの大口径化により要求される高精度なラッピング加工に合わせて各サイズの高精度大型ラッピング装置を充実したラインナップで揃えております。
また標準フェーシング機構に加え、Z軸をサーボモーターで制御したGNCシリーズによりフェーシングスライダーの真直度補正によるラッピングプレートの高精度な平面出し、スパイラル溝の再加工が行えます。
装置仕様
MODEL：
EJW-610INF-3ALD
MODEL：
EJW-910IF-ALD
| 機械サイズ（EJW-XXX） | 610 | 710 | 910 | 1200 |
|---|---|---|---|---|
| 標準定盤サイズ（⌀外径 x ⌀内径mm） | 610 x 210 | 710 x 210 | 910 x 300 | 1,200 x 400 |
| リングサイズ（⌀外径 x ⌀内径mm） | 286 x 250 | 360 x 322 | 435 x 385 | 500 x 452 |
| 貼付け板サイズ（mm） | 248 | 320 | 383 | 450 |
| 水冷機能 | ||||
| フェーシング機構の追加 | ||||
| 主軸モータ（kW） | 3.7 | 5.5 | 7.5 | 22 |
| 標準軸数 | 3ステーション ローラーアーム | |||
| 電源 | 3相 AC200V 50/60Hz | |||
| 本体寸法（W x D x H mm） | 1,200 x 1,300 x 1,900 | 1,200 x 1,600 x 1,900 | 2,000 x 1,600 x 2,000 | 2,200 x 2,000 x 2,300 |
| 重量（Kg NET） | 1,300 | 1,500 | 3,000 | 4,000 |
※本体寸法にはフェーシングユニット等のオプション機構寸法は含まれておりません。
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