Product Details製品詳細
立形研削盤 HVGシリーズ
立形研削盤HVGシリーズは、ウエハサイズに合わせたラインナップを揃えております。
研究開発機関から量産まで適応したコンパクトながら剛性の高いボディ構造を採用しております。他のTrinityシリーズと組み合わせることで省スペース化を実現し、無駄のない高機能な加工システムを構築することができます。
装置仕様
MODEL：HVG-200
| 機械モデル（HVG-xxx） | 200 | 250 | 300 |
|---|---|---|---|
| 最大加工物寸法 | 4インチ相当 | 6インチ相当 | 8インチ相当 |
| 砥石外径（mm） | 200 | 250 | 300 |
| 砥石回転数（rpm） | 2,000 | ||
| ワークテーブル径（mm） | 200 | 250 | 300 |
| ワークテーブル回転数（rpm） | 400 | ||
| 本体寸法（W x D x H mm） | 800 x 800 x 1,900 | 1,000 x 1,100 x 1,900 | 1,050 x 1,050 x 2,200 |
| 重量（Kg NET） | 1,100 | 2,000 | 2,500 |
横形研削盤 EHGシリーズ
横形研削盤EHGシリーズは、ソフトタッチパネルを搭載し、簡単な操作で高精度な研削加工を可能にしました。
高精度スピンドルを搭載した砥石軸、ワーク軸および揺動運動と光学リニアスケールとの併用でクローズドループ制御を行い、より高い送り精度と定寸精度を実現します。特に、小型なパーツの表面研削、小口径のウエハ研削加工に適しております。
装置仕様
MODEL：EHG-250
| 機械モデル（EHG-xxx） | 170 | 180 | 250 |
|---|---|---|---|
| 最大加工物寸法 | 4インチ相当 | 6インチ相当 | 8インチ相当 |
| 砥石外径（mm） | 170 | 180 | 250 |
| 砥石回転数（rpm） | 2,500 | 2,000 | |
| ワークテーブル径（mm） | 170 | 180 | 250 |
| ワークテーブル回転数（rpm） | 560 | 400 | 300 |
| 本体寸法（W x D x H mm） | 1,300 x 620 x 1,300 | 1,250 x 700 x 1,300 | 1,200 x 780 x 1,450 |
| 重量（Kg NET） | 800 | 820 | 900 |
高度な制御オプション
HVG-ADおよびHVG-ADMモデルには、自動砥石ドレッシング、ワークピースに対するカップ砥石の自動位置決め、およびワークピースの厚さ測定を制御する装備がオプション化されています。最大限の制御のために、研削サイクルへのフィードバックをリアルタイムで行うインプロセス厚さ測定へのアップグレードが可能です。
ADMモデルは、複数のウエハ研削用のマルチポイントコンタクトプロービング、または単一ウエハの接触または非接触連続インプロセス測定の選択など、自動化された板厚測定のオプションを提供します。
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