Product Details製品詳細
ミニマイザー（スラリー供給装置）/
オートスティラー（スラリー攪拌装置）
ミニマイザーEMC-3はダイヤモンドスラリーとルブリカントの噴霧時間と供給量をラッピングサイクルに合わせて正確に設定出来ます。
ラップ条件通りにスラリーの供給時間をコントロール出来ますので砥粒の過剰供給や不足によるトラブルは発生しません。
オートスティラーは、ラッピングマシーンの運転中にスラリーを撹拌し続けますのでダイヤの沈殿を防ぎスラリーの分散性を高めます。
関連する製品
セラミックリング
セラミックリングはラッピングプレートに噴霧されたスラリーのダイヤモンド砥粒を定盤面に均一にチャージします。
セラミックリングの使用によりダイヤが効率良く固定砥粒化しチッピングやスクラッチを防ぎます。
仕様
| コードNo. | ラップ定盤サイズ | サイズ（外径ø x 内径ø x 高さmm） |
|---|---|---|
| ACR-100 | 8インチタイプ | 98 x 79 x 35 |
| ACR-101S | 12インチタイプ | 143 x 108 x 40 |
| ACR-102S | 15インチタイプ | 178 x 140 x 40 |
| ACR-103S | 18インチタイプ | 220 x 182 x 50 |
| ACR-104S | 24インチタイプ | 286 x 250 x 55 |
| ACR-105S | 28インチタイプ | 360 x 322 x 70 |
| ACR-106S | 36インチタイプ | 435 x 385 x 70 |
| ACR-108S | 48インチタイプ | 500 x 452 x 70 |
※SタイプはSUSベース使用です。
※他のサイズのセラミック修正リングも別途見積製作致します。
貼付盤
ワークをワックス等で貼付けてラッピング/ポリッシングする時に用います。
材質はSUS及びセラミックスから選択可能です。
仕様
| 適応装置 | セラミック貼付盤 | SUS貼付盤 | サイズ（外径ø x 高さmm） |
|---|---|---|---|
| 12インチ | CEP-12 | SUP-12 | 107 x 20 |
| 15インチ | CEP-15 | SUP-15 | 138 x 26 |
| 18インチ | CEP-18 | SUP-18 | 180 x 26 |
| 24インチ | CEP-24 | SUP-24 | 248 x 20 |
| 28インチ | CEP-28 | SUP-28 | 320 x 20 |
| 36インチ | CEP-36 | SUP-36 | 383 x 20 |
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キャリア（片面・両面ラップ用）/
テンプレート（片面ラップ用）
キャリアは片面、両面ラップ用ともに、ワークの形状、用途に合わせて最適な素材で設計製作いたします。
テンプレートは各種半導体ウエハ等、様々なワークをワックスを使用せずに研磨ヘッドに保持できる製品です。
電着リング
ダイヤモンド電着修正リングは迅速にハイプレス定盤の平坦度修正を行うための修正リングです。
ダイヤモンド粒子は#60/80 、#120/140、#140/170の3種類から選択可能です。
仕様
| コードNo. | ラップ定盤サイズ | サイズ（外径ø x 内径ø x 高さmm） | 標準サイズ |
|---|---|---|---|
| PCR-100 | 8インチタイプ | 100 x 80 x 50 | #140/170 |
| PCR-101 | 12インチタイプ | 143 x 108 x 40 | |
| PCR-102 | 15インチタイプ | 178 x 140 x 40 | |
| PCR-103 | 18インチタイプ | 220 x 180 x 50 | |
| PCR-104 | 24インチタイプ | 286 x 250 x 50 | #120/140 |
| PCR-105 | 28インチタイプ | 360 x 320 x 50 | |
| PCR-106 | 36インチタイプ | 435 x 385 x 50 | |
| PCR-108 | 48インチタイプ | 500 x 460 x 50 |
※切れが悪くなった場合は再電着を行いますのでご連絡ください。
※他のサイズの修正リング及びメッシュサイズも別途見積もり製作いたします。
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パッドコンディショナー
CMP（Chemical Mechanical Polishing）プロセスに用いる研磨布の平坦度の維持、最適化された研磨レートによる長寿命化、研磨布内コンタミ除去の為に各種コンディショナーと洗浄ブラシを揃えております。
関連する製品
ラッピングゲージユニット
ラッピング定盤の平坦度を測定する装置です。
仕様
| コード | ラップ定盤サイズ |
|---|---|
| HLG-8 | 8インチタイプ |
| HLG-12 | 12インチタイプ |
| HLG-15 | 15インチタイプ |
| HLG-18 | 18インチタイプ |
| HLG-24 | 24インチタイプ |
| HLG-28 | 28インチタイプ |
| HLG-36 | 36インチタイプ |
※他のサイズも別途見積製作いたします。
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FMDランプ
ハイプレスFMDランプは旧型ヘリュームランプに代わる最新の光学平坦度測定用器具です。緑の光（波長：5461Å）がオプチカルフラットをバックアップして鏡面上の干渉縞を鮮明に描き出します。
また、ASA400フィルムで干渉縞の鮮明な写真撮影が可能です。
仕様
| コード | 出力（W） | サイズ（インチ x インチ） |
|---|---|---|
| FMD-16 | 18 | 10 x 12 |