Product Details製品詳細
高速・高圧ラッピング装置
EJW-380HSPシリーズは高速&高圧研磨機に対応した研磨装置です。
本機は基板形状の多結晶の焼結ダイヤモンド（PCD）、CVDダイヤモンドを高精度且つ、高能率に研磨加工するためにデザインされております。特にPCD研磨用に開発された温度制御システムは、砥石の温度上昇に反応して主軸スピンドル回転数、加圧を制御し、最適加工温度を保ちます。
また次世代材料の多くは硬脆質、難削材であり、高能率な研磨を実現する高加圧、高回転領域を用いた過酷な加工条件下に耐えうる仕様となっております。
装置仕様
MODEL：EJW-380HSP
| 機械モデル | EJW-380HSP |
|---|---|
| 砥石盤サイズ（⌀外径mm） | 380 |
| 定盤回転数（rpm） | 30～1,300 |
| メインモーター（kW） | 5.5 |
| 水冷機構 | ターンベース / ワークチャック部 |
| 対応ウェハサイズ | 最大 4inch |
| 操作パネル | 液晶タッチパネル式 カラー |
| 制御方式 | PLC制御 |
| プログラム | マルチステッププログラム 5ステップ |
| 加工レシピ登録 | 10レシピ |
| 強制駆動モーター | 130W 独立式 |
| 最大回転数 60rpm（CW / CCW） | |
| 揺動モーター | 90W 連動式 可変式ストローク |
| 電源 | 3相 AC200V 50/60Hz |
| 装置寸法（W x D x H mm） | 1,000 x 1,100 x 2,110 |
| 重量（Kg NET） | 1,200 |
油圧ピストンポンプ摺動面研磨装置
EJ-380ISR-D TETRAは油圧ポンプのシリンダーブロック及びバルブプレートに特化した専用の球面研磨加工機です。
マスターラップ（基準面出し）とペアラッピング（擦り合わせ）の組み合わせで完璧なコンタクトレシオが得られます。
装置仕様
MODEL：
EJ-380ISR-D TETRA
| 機械モデル | EJ-380ISR-D TETRA |
|---|---|
| 標準定盤サイズ（⌀外径mm） | 380 |
| ワーク軸 | マスターラップ用ローラーアーム / ペアラップ揺動軸 |
| ラッププレート回転数（rpm） | 10～110 |
| 主軸モータ（kW） | 0.4 |
| 揺動幅（mm） | ±50 |
| 強制駆動回転数（rpm） | 0～80 |
| 角度調整幅（度） | 0～20 |
| 電源 | 3相 AC200V 50/60Hz |
| 本体寸法（W x D x H mm） | 850 x 810 x 1,500 |
| 重量（Kg NET） | 250 |
使った際の変化
Before
After
円筒鏡面研磨機
本機は円筒形状の表面を鏡面仕上げするために設計した特殊研磨機です。 円筒形状に沿って積極的に研磨加工を行うための3D研磨パッドとダイヤモンド砥粒のキャリアとなるCSスラリーとの組み合わせにより超精密金型に匹敵する表面粗さを得ることができます。
装置仕様
MODEL：EVP-120CAM
| 機械モデル | EVP-120CAM |
|---|---|
| ポリッシングプレート径（⌀外径mm） | 138（SUS304） |
| 研磨パッド径（mm） | 120 |
| 研磨パッド動作 | 強制駆動/揺動運動 |
| 研磨パッド回転数（rpm） | Max 300 |
| 研磨パッド軸モータ | 0.37kW / Inverter |
| ワーク回転速度（rpm） | 20 ~ 170 |
| ワーク回転軸モータ | 1.0kW Servo |
| 軸数 | 1 |
| 揺動幅 | ±40mm（80mm st.） |
| 揺動モータ | 0.2kW Servo |
| シリンダー径 | ⌀32 x 100mm st |
| ワークチャック | 三爪スクロールチャック / ティルストック |
| 電源 | 3相 AC200V 50/60Hz |
| 機械寸法（W x D x H mm） | 1,250 x 700 x 1,920 |
| 機械重量（Kg） | 800 |
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