Product Details製品詳細

高速・高圧ラッピング装置

EJW-380HSPシリーズは高速&高圧研磨機に対応した研磨装置です。
本機は基板形状の多結晶の焼結ダイヤモンド(PCD)、CVDダイヤモンドを高精度且つ、高能率に研磨加工するためにデザインされております。特にPCD研磨用に開発された温度制御システムは、砥石の温度上昇に反応して主軸スピンドル回転数、加圧を制御し、最適加工温度を保ちます。
また次世代材料の多くは硬脆質、難削材であり、高能率な研磨を実現する高加圧、高回転領域を用いた過酷な加工条件下に耐えうる仕様となっております。

装置仕様

MODEL:EJW-380HSP

機械モデル EJW-380HSP
砥石盤サイズ(⌀外径mm)380
定盤回転数(rpm)30~1,300
メインモーター(kW)5.5
水冷機構ターンベース / ワークチャック部
対応ウェハサイズ最大 4inch
操作パネル 液晶タッチパネル式 カラー
制御方式PLC制御
プログラムマルチステッププログラム 5ステップ
加工レシピ登録10レシピ
強制駆動モーター130W 独立式
最大回転数 60rpm(CW / CCW)
揺動モーター90W 連動式 可変式ストローク
電源3相 AC200V 50/60Hz
装置寸法(W x D x H mm)1,000 x 1,100 x 2,110
重量(Kg NET)1,200

油圧ピストンポンプ摺動面研磨装置

EJ-380ISR-D TETRAは油圧ポンプのシリンダーブロック及びバルブプレートに特化した専用の球面研磨加工機です。
マスターラップ(基準面出し)とペアラッピング(擦り合わせ)の組み合わせで完璧なコンタクトレシオが得られます。

装置仕様

MODEL:
EJ-380ISR-D TETRA

機械モデル EJ-380ISR-D TETRA
標準定盤サイズ(⌀外径mm)380
ワーク軸マスターラップ用ローラーアーム / ペアラップ揺動軸
ラッププレート回転数(rpm)10~110
主軸モータ(kW)0.4
揺動幅(mm)±50
強制駆動回転数(rpm)0~80
角度調整幅(度)0~20
電源3相 AC200V 50/60Hz
本体寸法(W x D x H mm)850 x 810 x 1,500
重量(Kg NET)250

使った際の変化

Before

After

円筒鏡面研磨機

本機は円筒形状の表面を鏡面仕上げするために設計した特殊研磨機です。 円筒形状に沿って積極的に研磨加工を行うための3D研磨パッドとダイヤモンド砥粒のキャリアとなるCSスラリーとの組み合わせにより超精密金型に匹敵する表面粗さを得ることができます。

装置仕様

MODEL:EVP-120CAM

機械モデル EVP-120CAM
ポリッシングプレート径(⌀外径mm)138(SUS304)
研磨パッド径(mm)120
研磨パッド動作強制駆動/揺動運動
研磨パッド回転数(rpm)Max 300
研磨パッド軸モータ0.37kW / Inverter
ワーク回転速度(rpm)20 ~ 170
ワーク回転軸モータ1.0kW Servo
軸数1
揺動幅±40mm(80mm st.)
揺動モータ0.2kW Servo
シリンダー径⌀32 x 100mm st
ワークチャック三爪スクロールチャック / ティルストック
電源3相 AC200V 50/60Hz
機械寸法(W x D x H mm)1,250 x 700 x 1,920
機械重量(Kg)800