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ポリッシングパッド

シリコンまたは他の半導体結晶上の厳格な表面仕上げの製造はますます要求が厳しくなり、今日の半導体産業の要件を満たすことが非常に重要になっています。
Engisではお客様の要求に応じて、さまざまな研磨パッドタイプを提供しています。
各パッドの特長及び仕様は、各種素材及びポリッシングコンディションに合わせて下の表より最適なパッドを選択してください。パッドの裏側には、接着剤が着いていますのでポリッシング用定盤への取付けは極めて簡単です。