2025.05.30
ニュース
新規評価設備導入のお知らせ。
Engisはデモラボ室に新たな評価設備を導入しました。
研磨加工前後の表面観察、形状測定をより正確により確実に3D解析いたします。ご活用ください！
Inter Optics製 低コヒーレンス干渉計
モデル：OptoFlat 150
最大測定径：Φ150mm
測定：平面度、ウエハの反り測定など
出典：株式会社マブチ・エスアンドティー 製品・サービス
https://www.mabuchist.co.jp/information/sales/OptoFlat.html
キーエンス製 デジタルマイクロスコープ
モデル：VHX-X1
最高倍率：2,500倍 3D解析
測定：表面形状観察、表面粗さ測定など
出典：株式会社キーエンス カスタマイズ型マイクロスコープ
https://www.keyence.co.jp/ss/products/microscope/vhx-x1/001/2093_01.jsp